산업용 램프 계열
Low Pressure Mercury Lamp(High Power Type)
저압 수운 램프의 경우 1분간 50-100Å 두께의 유기물 분해가 대기 중에서 가능함.
공기중에 부유하고 있는 유기물과 유기용제 피막이 얇게 부착되어 있는 것에 대해서
단 시간에 원자수 까지 제거가 가능함.
Application
- ▪ LCD, PDP, 반도체 광세정
- ▪ LCD, PDP, 반도체 표면 개질
- ▪ 수처리
- ▪ 공기정화