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광학시스템

표면개질 장치 & 광반응 장치 & 광조사 장치 & 검사용 광원

UV 광 세정(洗淨) & 표면 개질(改質) 장치 (UV Cleaning & Surface Modifying Device)

Model : UXI-E4737U90_M10, UXI-P4737U90_M20_CN, UXI-A75150U155_M27_SN

Deep UV 광중압 반응 시스템

UV를 이용한 수처리 장치

Model : UXI-C30L40_M7_R, UXI-C300L110_M99_R, UXI-S75150U155_M27_SN

검사用 UV 조사 시스템

검사용 광원장치

Model : UXI-L2020SL075, UXI-A80180SL025_CM, UXI 1511SL5_M4